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Technology Application

技術(shu)應用

激光LIA技術

Laser LIA technology


應用原理 / Principle


Light-Induced Annealing(LIA): α-Si:H/c-Si的(de)(de)界面(mian)存在(zai)大量的(de)(de)界面(mian)態(Si懸(xuan)掛鍵(jian)),研究發現,在(zai)光(guang)照(zhao)的(de)(de)情況(kuang)下,對(dui)此(ci)結構(gou)進(jin)行(xing)加熱(re)退火(huo),可以有效(xiao)減少界面(mian)態(Si懸(xuan)掛鍵(jian))密度,降低界面(mian)復合,從而提(ti)高非晶硅的(de)(de)鈍化效(xiao)果。這個現象稱之為光(guang)誘導退火(huo),簡稱LIA;HJT電(dian)池結構(gou)中,存在(zai)α-Si:H /c-Si的(de)(de)界面(mian);在(zai)光(guang)照(zhao)情況(kuang)下,對(dui)HJT電(dian)池進(jin)行(xing)加熱(re)退火(huo),發現電(dian)池轉換效(xiao)率明(ming)顯上(shang)升,主(zhu)要體現在(zai)Voc和FF的(de)(de)提(ti)升上(shang)。








工藝簡介

Process Introduction

 激(ji)光(guang)LIA技術:通過超高功率激(ji)光(guang)照射HJT電池片,產生大(da)量光(guang)生載流子改變α-Si:H中氫的(de)價態(tai),使(shi)得α-Si:H/c-Si界面復(fu)合(he)降(jiang)低,因此能提升HIT電池的(de)Voc;并且能夠改善TCO層導電性能,降(jiang)低Ag/TCO的(de)接觸電阻,從而提高HJT電池的(de)FF。